从ASML年报看半导体产业的未来
光刻技术是制造性能更强大、成本更便宜芯片的推动力。ASML的目标一直是减少芯片工艺的临界尺寸，其整体光刻产品组合（EUV、ArFi、ArF、KrF和i-line系统等）有助于优化生产，并通过将光刻系统与计算建模、计量和检测解决方案集成，帮助优化生产并实现成本的降低。
阅读：3445 发布时间：2022-02-16 ASML光刻机芯片
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